金融界2025年4月21日消息，国家知识产权局信息显示，上海中科飞测半导体科技有限公司申请一项名为“多倍率成像系统轴偏检测系统及方法”的专利，公开号CN119845195A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本发明实施例公开了多倍率成像系统轴偏检测系统及方法，系统包括物镜、多个管镜、管镜切换结构、Z向运动台、相机、分束器和标记板；检测方法基于参考光束和被测物离焦成像，采用分束器的反射光束作为参考光束，结合被测物离焦成像方法，通过参考光斑和成像光斑在相机不同Z向位置上的位置变化，测量光轴倾斜，实现对具备多放大倍率管镜模组与物镜的轴偏测量；因采用分束器的反射光束作为轴偏测量时的参考光束，并在结果中进行校正，使得本发明测量精度与相机运动轴无关，消除相机的运动轴倾斜影响，进一步提高了检测精度。
天眼查资料显示，上海中科飞测半导体科技有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本8000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海中科飞测半导体科技有限公司参与招投标项目7次，专利信息8条，此外企业还拥有行政许可5个。
本文源自金融界
