金融界2025年4月21日消息,国家知识产权局信息显示,上海中科飞测半导体科技有限公司申请一项名为“多倍率成像系统轴偏检测系统及方法”的专利,公开号CN119845195A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本发明实施例公开了多倍率成像系统轴偏检测系统及方法,系统包括物镜、多个管镜、管镜切换结构、Z向运动台、相机、分束器和标记板;检测方法基于参考光束和被测物离焦成像,采用分束器的反射光束作为参考光束,结合被测物离焦成像方法,通过参考光斑和成像光斑在相机不同Z向位置上的位置变化,测量光轴倾斜,实现对具备多放大倍率管镜模组与物镜的轴偏测量;因采用分束器的反射光束作为轴偏测量时的参考光束,并在结果中进行校正,使得本发明测量精度与相机运动轴无关,消除相机的运动轴倾斜影响,进一步提高了检测精度。
天眼查资料显示,上海中科飞测半导体科技有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本8000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海中科飞测半导体科技有限公司参与招投标项目7次,专利信息8条,此外企业还拥有行政许可5个。
本文源自金融界