国产光刻“机”已经在路上了！
华为发布的mate60pro等一系列产品的发布，包括近期关于国产光刻厂的一系列曝光，无疑提振了我国的科技产业。尤其是搭载自研自产的麒麟9000s7nm先进制程芯片，在近些年“中美芯片战争”的背景下，大大提振了国人对于先进科技产业的“国产替代”的信心。曾经受制于海外的技术、设备封锁，也成就了如今的国产芯片崛起。实际上，如果没有这场科技战争，ASML或许仍然是不可触及的“神”，毕竟它依旧垄断者着全球最先进芯片供应的核心设备EUV光刻机。
但无论麒麟芯片是用什么类型的光刻机制造，工艺如何，激动人心且令人期待的是一直拦在国内芯片制造产业发展航线上的那座巨型冰山，已经开始出现了裂缝！
国产光刻机还会有多远？
光刻机，被誉为是目前人类制造出的“最精密的仪器”，也是芯片半导体设备中最昂贵、最关键、国产化率最低的环节，全球光刻机市场长期荷兰ASML、日本佳能、尼康三大巨头垄断，而目前最先进的具有波长为13.5nm的极紫外光刻系统的EUV光刻机只有ASML能生产，其中需要10万多个零件组成，而这其中光学系统是光刻机正是其核心，芯片的制程越小，对光的波长要求也越低，对应的光学系统的精度也就越高，而目前全球仅有少数公司具备光刻机超精密光学系统的供应能力，而能稳定折射极紫外光的镜头，只有德国蔡司的光学镜头可以达到，这也是国产光刻机“卡脖子”的一个关键零件。
而且从光刻机的价值链，价值最高的无疑是整机，但外购部件占比最高的则是光学部件，以德国蔡司为例，其光刻机光学零部件约占ASML产品总成本的26%，光源部分DUV占比约20%，EUV则占比更高，能达到27%。为了控制成本和加强垄断地位，2013年ASML先是以19.5亿欧元全资控股了极紫外光光源公司美国Cymer，后面又在2016年斥资10亿欧元收购了光学镜头厂商蔡司半导体24.9%的股份。这也是为什么荷兰ASML能横着走的原因，即使是日本的佳能、尼康也无法在EUV光刻机上实现突破，就是因为其必须的光源和反射镜头已全被垄断。
对于中国而言，再加上荷兰、日本、美国长期对于芯片半导体关键设备出口依旧限制，要想继续发展国产光刻机，光学零部件国产替代的意义也是相当重大。尽管目前德国蔡司遥遥领先，但国产光刻机的崛起必然需要中国自己的“蔡司”。
解剖“中国蔡司”
国产光刻机要看上海微电子，作为我国唯一的光刻机厂商，国内市场占有率80%，目前公开最先进的是600系列光刻机，可以实现90nm的分辨率。由于上海微电子并未上市，因此在A股与其相关联的上市公司就是市场预期和资金的目标，近期房地产企业张江高科（600895.SH）就因为持股上海微电子的股份而收获了“四连板”，股价大涨。
不过就目前来看，国内能生产光刻机镜头的上市公司实在是凤毛麟角，除了国内最顶尖的长春光机有研发出EUV光源和镜头系统的消息，不过量产情况尚且未知，公开已知的有一家3月份刚在科创板上市的茂莱光学（688502.SH）有相关光刻机镜头的业务。
茂莱光学1999年成立，从按产品来看，公司早期主要从事光学镜头业务，以出口欧洲美洲为主。随着市场的不断变化，产品技术迭代，客户对光学镜头的要求越来越高，公司涉足的领域也开始延展至更精密镜头，2015年精密光学元件也逐渐成为核心业务。
目前公司主要从事精密光学器件、光学镜头和光学系统的研发设计及产业化，是目前国产精密光学仪器巨头、传感器的头部企业。核心产品主要为定制化工业级精密光学产品，下游应用领域主要是生命科学、AR/VR检测以及半导体检测和国产光刻机领域。
技术层面。公司光刻机镜头产品仅覆盖深紫外DUV、可见光到远红外全谱段。其中公司自主研发的半导体DUV光学透镜，选用高纯度石英、CaF2材料，经由高质量抛光、半导体紫外光谱段镀膜后可实现高面型与表面光洁度，口径在100mm-300mm，达深紫外波段要求。换言之，只能满足DUV光刻机的需求；
正视差距，才能缩小差距
据统计，2022年全球前三大光刻机厂商出货量达到551台，同比增长15%；全球的市场规模达1430亿元，增长26%。对比销售金额，ASML市占率82%，一家独大，剩下市场基本由佳能、尼康瓜分，市占率分别为10%、8%，三家合计已经接近100%。而四种主流i-line、KrF、ArF、EUV光刻机中，EUV光刻机技术最先进、可用于10nm以下的先进制程，由ASML的EUV光刻机绝对垄断。
2022年蔡司收入87.54亿欧元，净利11.55亿欧元，2015-2022年CAGR分别为10%、28%，毛利率超55%。2022年蔡司四大部门半导体、工业、医疗、消费光学收入占比为31%、24%、26%、18%，其中，2022年蔡司半导体收入为27.28亿欧元（213.35亿人民币），增速最高达到30%，按照蔡司光刻机镜头80%的市占率，可以估算目前全球光刻机光学镜头的市场规模在260亿元左右，而国内光刻机光学部件市场规模短期可能也就36亿元人民币左右。
对于茂莱光学和国产光刻机光学镜头产业，并不是好消息，这意味着以下两个现实问题：
首先，对于国产光刻机光学镜头这个细分领域，市场空间非常有限，短期不足百亿将是现实；其次，茂莱虽然能供货上海微电子DUV的镜头，但整体的技术水平和品牌并不强，对比国际巨头竞争优势微乎其微。换言之，对于国产光刻机，茂莱光学暂且只能在国产自主可控关键节点的光学镜头领域竞争，无法为中短期的业绩预期带来可观的经济效益。这也不难解释，虽然供货给上海微电子，但公司光刻机的相关收入仅有几百万，占比不足3%；
回到茂莱光学研发情况，2022年公司研发费用0.54亿，占比12.3%,今年上半年研发占比新高达到13.81%，今年上市计划募资4亿（实际募资8.11亿），其中计划用于研发7800多万，可见茂莱的研发投入还是用心的，研发投入确实在增加，而且首发超募了1倍，看今年全年的研发费用能否也超过1.5亿。
但差距还是有的，对比来看，蔡司全年研发费用达11.5亿欧元、研发费率达13%。而且从招股说明书上看，茂莱光学自主研发的“高面形超光滑抛光技术”是核心技术之一，该技术抛光后的透镜表面粗糙度可以达到Ra＜0.3nm。据了解，国内目前最强的中科院能够达到的实验室粗糙度是0.1nm左右，而世界最先进的EUV光刻机所用的光学镜头表面粗糙度，可以达到恐怖的20pm（0.02um）；
基本面情况
资产负债端，公司整体的资产负债率极低，仅有13.19%，基本没有偿债压力。资产端，表面看整体流动性变强，今年年中流动资产达到10.19亿，占比总资产的75.59%，但要注意的是公司年中一下子增加了一大笔5.42亿的可交易金融资产，半年报显示是购买了银行理财。
总结下，茂莱光学确实拥有DUV光刻机光学透镜的产能，也的确供货给上海微电子，但整体的技术水平和中短期的业绩潜力都暂且未能达到“中国蔡司”的预期，茂莱的核心产品的应用大多还是在生命科学领域，而且公司成立的很早，却依然以海外市场为主（占比超80%），很难不怀疑面对国内竞争，茂莱是否在国内市场开拓上存在较大的困难。
光刻机光学系统和镜头的国产替代并非一块肥肉，其战略意义要胜于经济意义，而“中国蔡司”的崛起之路还是道阻且长。
